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  MEMS(Microelectromechanical systems,微机电系统/微机械/微系统)MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、迅速度高、易于集成等,是微型传感器的主力军,正在逐渐取代古板机械传感器,在各个领域险些都有研究,岂论是消耗电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。

1   挑战有哪些? 1

  解决计划


  拾取工具和功效?   ●定制的专用拾取吸头设置自动贴片压力?榭梢园芸煽氐募涎沽驮那寰彩叭   ●定制的专用吸头可以自动和被动的自调平包管键合界面的平面度,避免SMILE效应   ●可以搭载吸嘴加热?,超声?,激光加热?,UV点胶及固化?,热氮及甲酸工艺;て,基底预热?,历程控制?,芯片倒装焊接?   ●能够实现高精度自动对位,贴装,点胶,键合等焦点对功效?啥ㄖ拼钤夭畋鸸π?槔赐瓿沙妊辜,激光热压键合(金锡,铟,共晶)胶粘,固化等工艺

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